光刻机是一种通过光照作用使光刻胶在硅晶圆表面上形成一定图形，并在接下来的一系列工艺中令其发挥特定功能的精密加工设备。
在微电子学、显示器件、纳米技术等行业中，光刻机被广泛应用。其中，在集成电路制造中，光刻机首当其冲，是控制半导体制造精度的核心。它将代表芯片功能的图形使用特定的光源，透过掩模将图形投射到硅晶圆上，形成特定芯片元器件的制造工艺。因此，在半导体制造中使用的光刻机是精度要求非常高的设备之一。
除了在半导体制造中的应用，光刻机还可以用于其它行业。比如，在光学技术领域，利用激光在表面刻蚀出微观结构，常用于制造微型光学元件；在生命科学领域，利用光学降解光刻胶制作微型细胞培养板等。可以说，光刻机的应用范围非常广泛。
